装置包括可拆卸的气体放电管、测量系统、真空系统、进气系统和水冷系统等部分组成。工作气体、工作气压、电极距离等参数均可灵活地加以单独或组合调控，从而利用该装置可以系统了解等离子体的激发原理，研究工作气压、气体种类等因素对等离子体的影响，不仅可以开设多个验证性实验，而且可以开设研究性和综合性实验，以提高学生独立分析问题的能力。

实用新型专利：ZL 2006 2 0102056.9

全国高校物理实验仪器评比二等奖

主要实验内容

1、汤森**电离系数a及比值a/p的测定；

2、直流低气压放电现象观察及伏安曲线测量；

3、气体击穿电压的测定及帕邢定律验证实验；

4、等离子体电子温度和浓度的测量等实验；

5、探究直流辉光等离子体在磁场中的放电现象。

主要技术参数

1、工作气压：10～200Pa；

2、等离子体电源：0～2000V可调，电流0.6A；

3、辉光放电电流：0～200mA可测；

4、本底真空：0.67Pa；

5、放电气体：空气、氮气、氩气、氢气（一种）；

6、进气系统：质量流量计控制进气，流量调节范围0～100SCCM；

7、真空系统：机械泵+数显电阻真空计；

8、探针电流：0～200µA可测；

9、探针电压：0～±120V可调；

10、双探针：直径0.4mm，可更换，距离可调；

11、供电电源：AC220V，50Hz；功率：2KW。

选配：氩气或氮气 40升钢瓶及钢瓶减压阀。