DHRP-1 电感耦合射频等离子体实验装置
发布时间：2024-01-04浏览次数：53
主要实验内容
1、等离子体消毒灭菌实验（如大肠杆菌(8099)、金黄色葡萄球菌(ATCC6538)）；
2、等离子体材料表面改性实验（如纸张亲水性、纸张接触角）；
3、等离子体材料表面清洗实验；
4、等离子体聚合实验。
主要技术参数
1、真空室体积：140×150mm3；
2、射频功率：0～500W；
3、频率：13.560MHZ；
4、工作气压：10～200Pa；
5、真空室本底真空：≤5Pa；
6、反应腔极限真空：0.67Pa；
7、等离子体电子温度：1～8Ev；
8、等离子体电子密度：0.1-5×10个电子/m3；
9、真空系统：DRV-16双极旋片泵，抽速：4L/S；
10、真空计：电阻真空计；
11、观察窗口：Φ130mm；
12、供电电源：AC220V，50Hz；整机功率：2KW。
